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  • 双门水冷无氧烤箱
  • 发布时间:2025-01-23 浏览次数:5次 作者:夏风科技

    应用领域:

    适用于半导体、光电元件等做无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理,所有的 Lead PKG、BGA、MCM;光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜;银浆固化、模后固化、电镀退火;基板除潮、晶圆干燥等。 

    设备参数:

    设备尺寸:1500mm*1100mm*1850mm(W*D*H)

    内腔尺寸:700mm*640mm*560mm(W*D*H)

    温度范围:R.T+25℃~250℃

    温度波动范围:(0-100℃)<±1℃(100-200℃)<±2℃

    温度均匀性:(0-100℃)<1℃(100-200℃)<2℃

    升温时间:< 30Min(175℃) <40Min(200℃)

    技术特点:

    采用水平送风系统的高性能腔体,采用加热循环方式,进行精确的温度控制;

    烘箱采用双体式腔设计,内腔采用全不锈钢镜面,并且为整体式焊接工艺,保证了设备在运行时的腔体内清洁和预防了产品表面的沾污;

    每个腔体配 6 点温度监控,配备温度监控及联网所需数据转换模块,用于温度采集及数据记录;

    配置 SMC 数字氮气流量计与浮子式氮气流量计(流量 10-100L/MIN)配合使用,可实现氮气流量监控报警功能,可实现更加精确的工艺管控要求。

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