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通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
产品优势
产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
低耗能、耗气产品。
便捷的收放板方式。
真空系统集成，占地面积小。
合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
集成的控制系统设计，使操作更方便。
产品规格
| 设备尺寸 | L1000×W900×H1750mm | |
| 重量 | 500Kg | |
| 需求电源 | AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） | |
| 等离子发生器规格 | ||
| 电源功率 | 射频 | 中频 |
| 0~600W | 0-1000W | |
| 电源频率 | 13.56MHz | 40 KHz |
| 真空系统 | ||
| 真空泵 | 飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h | |
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | |
| 材质 | 铝合金 | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密封性 | 军工级焊接密封 | |
| 腔体内部尺寸 | 450×450×500mm（宽×高×深） | |
| 电极板有效尺寸 | 322×351mm（宽×深） | |
| 可用空间间距 | 20mm | |
| 电极板布置方式 | 水平电极板 | |
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | |
| 工作空间 | 8层 | |
| 工艺气体 | ||
| 流量范围 | 0~300SCCM | |
| 工艺气体气路 | 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 | |
| 控制系统 | ||
| 系统控制 | PLC | |
| 交互方式 | 7寸触控屏幕 | |
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